格塞爾嬰幼兒發展量表
[拼音]：sanlüqinggui
[外文]：trichlorosilane
又稱矽氯仿。甲矽烷的三氯代物，化學式SiHCl3。為一種易流動的無色液體；熔點－126.5℃，沸點 33℃，密度1.34克／釐米3；能溶於苯、氯仿和二硫化碳。
三氯氫矽在水中發生水解作用，生成聚合的HSiO1.5，其結構像聚矽氧烯(H2SiO)n。三氯氫矽與乙醇反應生成矽酸的酯類和氯化氫：
SiHCl3+3C2H5OH─→SiH(OC2H5)3+3HCl
在有機過氧化物催化下，能與α烯烴起加成反應，例如：
與丙烯腈作用，發生兩種加成反應：
在金屬鈉的作用下，會還原成一種聚合的不飽和氫化矽：
xSiHCl3+3xNa─→(SiH)x+3xNaCl
矽氯仿和四氟化錫在封閉管中加熱，可得到矽氟仿：
4SiHCl3+3SnF4─→4SiHF3+3SnCl4
三氯氫矽可由氯化氫在350℃時與單質矽反應來製備：
Si+3HCl─→SiHCl3+H2
三氯氫矽易被精鎦提純，是生產純矽的中間原料。