反應離子蝕刻[法]

中 文 反應離子蝕刻[法]

英 文 reactive ion etching

出 處 化學工程名詞

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反應離子蝕刻休會蝕刻 reactive ion etching (RIE) recess etching 【電子工程】
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反應濺射蝕刻[法] reactive sputtering etching 【化學工程名詞-兩岸化學工程名詞】
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回應離子蝕刻 reactive ion etching{=RIE} 【電機工程】
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