衰減式相移光罩

中 文 衰減式相移光罩

英 文 attenuated phase shifting mask{=Att-PSM}

出 處 電子工程

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中文詞彙 英文翻譯 出處/學術領域
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移相式光罩 phase shifting mask{=PSM} 【電子工程】
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差動式鍵控相移 differential phase shift keying{=DPSK} 【電子工程】
光學相移 optical phase shift 【電子工程】
投影光刻機;投影式光罩對準曝光機 projection mask aligner 【電子工程】