離子束

中 文 離子束

英 文 ion cluster

出 處 電力工程

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聚焦離子束 Focused ion beam{=FIB} 【電子工程】
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聚焦離子束植入 Focused ion beam implantation 【電子工程】
聚焦離子束蝕刻 focused ion beam etching 【電子工程】
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