物理汽相澱積；物理氣相沉積；物理蒸氣沈積［法］
中 文 物理汽相澱積；物理氣相沉積；物理蒸氣沈積［法］
英 文 physical vapor deposition，PVD
出 處 兩岸對照名詞-機械
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