微波電子迴旋共振化學氣相沉積
中 文 微波電子迴旋共振化學氣相沉積
出 處 電子工程
相關詞匯
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| 微波電子迴旋共振化學氣相沉積 | microwave ECR-CVD | 【電子工程】 |
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| 電子迴旋共振 | electron cyclotron resonance{=ECR} | 【電子工程】 |
| 電子迴旋共振電漿 | Electron cyclotron resonance plasma | 【電子工程】 |
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